机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2011年
11期
96-99
,共4页
微悬臂梁%Ansys%静电力%应力%解析公式
微懸臂樑%Ansys%靜電力%應力%解析公式
미현비량%Ansys%정전력%응력%해석공식
运用Ansys模拟软件对不同厚度的微悬臂梁在同一电压下(未达到吸合电压)进行静电力分析,得到悬臂梁固定端的应力大小,同时得到此应力与厚度的关系.再根据力学相关解析式对固定端进行力学分析,通过比较两种方法得到的结论,发现结论是相反的,因此得出弹性模量E是决定微观材料性能的重要因素,以及静电力作用下的微悬臂梁存在机电耦合作用,单纯的力学解析式是没法精确计算得出的.
運用Ansys模擬軟件對不同厚度的微懸臂樑在同一電壓下(未達到吸閤電壓)進行靜電力分析,得到懸臂樑固定耑的應力大小,同時得到此應力與厚度的關繫.再根據力學相關解析式對固定耑進行力學分析,通過比較兩種方法得到的結論,髮現結論是相反的,因此得齣彈性模量E是決定微觀材料性能的重要因素,以及靜電力作用下的微懸臂樑存在機電耦閤作用,單純的力學解析式是沒法精確計算得齣的.
운용Ansys모의연건대불동후도적미현비량재동일전압하(미체도흡합전압)진행정전력분석,득도현비량고정단적응력대소,동시득도차응력여후도적관계.재근거역학상관해석식대고정단진행역학분석,통과비교량충방법득도적결론,발현결론시상반적,인차득출탄성모량E시결정미관재료성능적중요인소,이급정전력작용하적미현비량존재궤전우합작용,단순적역학해석식시몰법정학계산득출적.
