四极质谱计气体分析与测量系统的研制
사겁질보계기체분석여측량계통적연제
Research and development of gas analysis and testing system of quadrupole mass spectrometer
  • 万方数据
    核聚变与等离子体物理 핵취변여등리자체물리
    NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
    2012年 3期 229-234 ,共6页

    蔡潇%曹曾%黄向玫%许正华%崔成和%高霄雁

    채소%조증%황향매%허정화%최성화%고소안

    流导%漏放气率%灵敏度%离子流 流導%漏放氣率%靈敏度%離子流
    류도%루방기솔%령민도%리자류
    介绍了为开展漏孔检测、氘-氦分辨性能及真空检漏技术等相关实验研究而进行的四极质谱计分析与测量系统的研制,描述了真空室结构、抽气设备的选型、测量仪器的选择及控制保护子系统工作方式.对系统进行了包括极限真空、残余气体质谱分析、漏放气率、质谱计性能等测试,结果表明本系统达到了设计要求.
    개소료위개전루공검측、도-양분변성능급진공검루기술등상관실험연구이진행적사겁질보계분석여측량계통적연제,묘술료진공실결구、추기설비적선형、측량의기적선택급공제보호자계통공작방식.대계통진행료포괄겁한진공、잔여기체질보분석、루방기솔、질보계성능등측시,결과표명본계통체도료설계요구.
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