真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
1期
50-52
,共3页
蔡臻炜%沃松涛%沈杰%崔晓莉%俞宏坤%杨锡良%章壮键
蔡臻煒%沃鬆濤%瀋傑%崔曉莉%俞宏坤%楊錫良%章壯鍵
채진위%옥송도%침걸%최효리%유굉곤%양석량%장장건
二氧化钛%直流反应磁控溅射%锑%表面活性剂
二氧化鈦%直流反應磁控濺射%銻%錶麵活性劑
이양화태%직류반응자공천사%제%표면활성제
用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Sb修饰TiO2薄膜,利用XRD,Raman光谱以及SIMS研究了Sb对其表面结晶情况的影响并用XPS及SIMS分析了薄膜的成分.结果表明一定程度Sb的修饰对TiO2薄膜成晶有优化作用,起到了类似表面活性剂的作用,并使薄膜表面的光致亲水性能得到改善.当Sb修饰过量时,破坏了TiO2原有的晶格结构,劣化了薄膜表面的光致亲水性.
用直流反應磁控濺射方法在玻璃基底上製備瞭Sb脩飾TiO2薄膜,利用XRD,Raman光譜以及SIMS研究瞭Sb對其錶麵結晶情況的影響併用XPS及SIMS分析瞭薄膜的成分.結果錶明一定程度Sb的脩飾對TiO2薄膜成晶有優化作用,起到瞭類似錶麵活性劑的作用,併使薄膜錶麵的光緻親水性能得到改善.噹Sb脩飾過量時,破壞瞭TiO2原有的晶格結構,劣化瞭薄膜錶麵的光緻親水性.
용직류반응자공천사방법재파리기저상제비료Sb수식TiO2박막,이용XRD,Raman광보이급SIMS연구료Sb대기표면결정정황적영향병용XPS급SIMS분석료박막적성분.결과표명일정정도Sb적수식대TiO2박막성정유우화작용,기도료유사표면활성제적작용,병사박막표면적광치친수성능득도개선.당Sb수식과량시,파배료TiO2원유적정격결구,열화료박막표면적광치친수성.
