CAJ | 학술논문

提出了一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2.08kHz,品质因子Q为21.4,灵敏度为93.7mV/g.
제출료일충구유"8현비량-질량괴"결구적신형삼명치식규미궤계전용식가속도계,용미궤계가공공예재(111)규편상제작출료구유신호수출적기건.해가속도계적관성질량괴유동일(111)규편상하표면대칭분포적8근현비량지탱.저사현비량시이용(111)규재KOH용액중적각향이성부식특성결합심반응리자각식(DRIE)실현적,기척도정학가공,보증료결구적대칭성.해가속도계적해진빈솔위2.08kHz,품질인자Q위21.4,령민도위93.7mV/g.