润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2007年
11期
1-4,30
,共5页
孙家振%潘国顺%朱永华%戴媛静%雒建斌%李维民
孫傢振%潘國順%硃永華%戴媛靜%雒建斌%李維民
손가진%반국순%주영화%대원정%락건빈%리유민
硬盘基片%化学机械抛光%材料去除率
硬盤基片%化學機械拋光%材料去除率
경반기편%화학궤계포광%재료거제솔
硬盘盘基片粗抛光必须在较高材料去除率的基础上获得高表面质量.分别用合成法和粉碎法制得的α-Al2O3颗粒做了抛光实验,并分析了抛光液中氧化剂、络合剂含量和抛光液pH值对材料去除率的影响机制.结果表明:用合成法制得的颗粒抛光后基片表面凹坑严重,降低抛光液配方中氧化剂的含量,虽可使表面粗糙度(Ra)和表面波纹度(Wa)大幅降低,但材料去除率也大幅下降,该颗粒不适合基片粗抛光;用粉碎法制得的颗粒抛光后基片表面划痕密集,加入一定量的减阻剂后基片Ra和Wa大幅降低,材料去除率有所降低但仍维持在较高的水平,因此减阻剂可平衡该颗粒的材料去除率和抛光表面质量;粉碎法制得的颗粒抛光液中,随氧化剂和络合剂的增加,材料去除率均呈先升后降趋势;pH值的升高会使材料去除率下降,但酸性太强会引起过腐蚀,适宜的pH在2.0～3.0之间.
硬盤盤基片粗拋光必鬚在較高材料去除率的基礎上穫得高錶麵質量.分彆用閤成法和粉碎法製得的α-Al2O3顆粒做瞭拋光實驗,併分析瞭拋光液中氧化劑、絡閤劑含量和拋光液pH值對材料去除率的影響機製.結果錶明:用閤成法製得的顆粒拋光後基片錶麵凹坑嚴重,降低拋光液配方中氧化劑的含量,雖可使錶麵粗糙度(Ra)和錶麵波紋度(Wa)大幅降低,但材料去除率也大幅下降,該顆粒不適閤基片粗拋光;用粉碎法製得的顆粒拋光後基片錶麵劃痕密集,加入一定量的減阻劑後基片Ra和Wa大幅降低,材料去除率有所降低但仍維持在較高的水平,因此減阻劑可平衡該顆粒的材料去除率和拋光錶麵質量;粉碎法製得的顆粒拋光液中,隨氧化劑和絡閤劑的增加,材料去除率均呈先升後降趨勢;pH值的升高會使材料去除率下降,但痠性太彊會引起過腐蝕,適宜的pH在2.0～3.0之間.
경반반기편조포광필수재교고재료거제솔적기출상획득고표면질량.분별용합성법화분쇄법제득적α-Al2O3과립주료포광실험,병분석료포광액중양화제、락합제함량화포광액pH치대재료거제솔적영향궤제.결과표명:용합성법제득적과립포광후기편표면요갱엄중,강저포광액배방중양화제적함량,수가사표면조조도(Ra)화표면파문도(Wa)대폭강저,단재료거제솔야대폭하강,해과립불괄합기편조포광;용분쇄법제득적과립포광후기편표면화흔밀집,가입일정량적감조제후기편Ra화Wa대폭강저,재료거제솔유소강저단잉유지재교고적수평,인차감조제가평형해과립적재료거제솔화포광표면질량;분쇄법제득적과립포광액중,수양화제화락합제적증가,재료거제솔균정선승후강추세;pH치적승고회사재료거제솔하강,단산성태강회인기과부식,괄의적pH재2.0～3.0지간.
