钛工业进展
鈦工業進展
태공업진전
TAI GONGYE JINZHAN
2009年
6期
27-30
,共4页
王宝云%李争显%杜继红%严鹏%姬寿长
王寶雲%李爭顯%杜繼紅%嚴鵬%姬壽長
왕보운%리쟁현%두계홍%엄붕%희수장
钛合金%表面%磁控溅射%MCrAlY%涂层
鈦閤金%錶麵%磁控濺射%MCrAlY%塗層
태합금%표면%자공천사%MCrAlY%도층
采用非平衡磁控溅射技术在TCA钛合金表面沉积NiCoCrAlY抗烧蚀涂层,分析了不同溅射工艺下沉积涂层的微观结构以及对涂层组织的影响.结果表明:溅射沉积涂层成分主要与靶材成分均匀性有关,沉积涂层的成分与靶材成分基本一致;溅射过程中由于涂层表面不均匀的择优生长,造成涂层表面粗糙度有提高的趋势,涂层表面会产生大量的微米级的颗粒状突起以及出现少量直径约十几个微米的圆丘形突起,都呈现中心高、四周低的特征.实验制备涂层厚度在7～60 μm之间,组织致密,厚度均匀,与基体结合良好,涂层增厚与溅射时间呈线性关系.XRD分析说明涂层表面主要是AlNi3,Al0.9Ni4.22相,其他涂层元素以非晶态存在,随涂层沉积时间延长,涂层表面晶态结构发生破坏,涂层元素之间形成的化合物相趋于消失.
採用非平衡磁控濺射技術在TCA鈦閤金錶麵沉積NiCoCrAlY抗燒蝕塗層,分析瞭不同濺射工藝下沉積塗層的微觀結構以及對塗層組織的影響.結果錶明:濺射沉積塗層成分主要與靶材成分均勻性有關,沉積塗層的成分與靶材成分基本一緻;濺射過程中由于塗層錶麵不均勻的擇優生長,造成塗層錶麵粗糙度有提高的趨勢,塗層錶麵會產生大量的微米級的顆粒狀突起以及齣現少量直徑約十幾箇微米的圓丘形突起,都呈現中心高、四週低的特徵.實驗製備塗層厚度在7～60 μm之間,組織緻密,厚度均勻,與基體結閤良好,塗層增厚與濺射時間呈線性關繫.XRD分析說明塗層錶麵主要是AlNi3,Al0.9Ni4.22相,其他塗層元素以非晶態存在,隨塗層沉積時間延長,塗層錶麵晶態結構髮生破壞,塗層元素之間形成的化閤物相趨于消失.
채용비평형자공천사기술재TCA태합금표면침적NiCoCrAlY항소식도층,분석료불동천사공예하침적도층적미관결구이급대도층조직적영향.결과표명:천사침적도층성분주요여파재성분균균성유관,침적도층적성분여파재성분기본일치;천사과정중유우도층표면불균균적택우생장,조성도층표면조조도유제고적추세,도층표면회산생대량적미미급적과립상돌기이급출현소량직경약십궤개미미적원구형돌기,도정현중심고、사주저적특정.실험제비도층후도재7～60 μm지간,조직치밀,후도균균,여기체결합량호,도층증후여천사시간정선성관계.XRD분석설명도층표면주요시AlNi3,Al0.9Ni4.22상,기타도층원소이비정태존재,수도층침적시간연장,도층표면정태결구발생파배,도층원소지간형성적화합물상추우소실.
