CAJ | 학술논문

集成电路芯片外观检测中,图像处理算法的精度和速度严重制约了检测质量及效率的提升.鉴于此,文中提出了两种快速检测芯片外观参数的算法--直线拟合算法和主轴算法.上述两种算法根据待检测管脚参数的特点,在选取ROI区域的基础上,只针对所选区域的图像进行相关预处理,从而进一步提高速度.直线拟合算法从待测管脚的边缘点着手进行处理,而主轴算法则关注于管脚的一二阶矩,并根据主轴公式得出所求参数.最后从速度和精度方面对此两种算法的特点进行了对比分析并给出了两种算法的实验结果.
집성전로심편외관검측중,도상처리산법적정도화속도엄중제약료검측질량급효솔적제승.감우차,문중제출료량충쾌속검측심편외관삼수적산법--직선의합산법화주축산법.상술량충산법근거대검측관각삼수적특점,재선취ROI구역적기출상,지침대소선구역적도상진행상관예처리,종이진일보제고속도.직선의합산법종대측관각적변연점착수진행처리,이주축산법칙관주우관각적일이계구,병근거주축공식득출소구삼수.최후종속도화정도방면대차량충산법적특점진행료대비분석병급출료량충산법적실험결과.