东方电气评论
東方電氣評論
동방전기평론
2012年
1期
63-66
,共4页
李世振%罗健明%汪浩%吴刚
李世振%囉健明%汪浩%吳剛
리세진%라건명%왕호%오강
多晶硅生产%三氯氢硅%四氯化硅%氢化炉%电气系统
多晶硅生產%三氯氫硅%四氯化硅%氫化爐%電氣繫統
다정규생산%삼록경규%사록화규%경화로%전기계통
氢化炉是西门子法生产多晶硅企业的重要设备,它可将还原炉尾气中的有毒有害物四氯化硅转化为多晶硅生产的原料三氯氢硅.本文介绍了氢化炉的主要电器设备,并根据氢化生产的流程和工艺,说明选择这些电器设备参数的原则和依据.
氫化爐是西門子法生產多晶硅企業的重要設備,它可將還原爐尾氣中的有毒有害物四氯化硅轉化為多晶硅生產的原料三氯氫硅.本文介紹瞭氫化爐的主要電器設備,併根據氫化生產的流程和工藝,說明選擇這些電器設備參數的原則和依據.
경화로시서문자법생산다정규기업적중요설비,타가장환원로미기중적유독유해물사록화규전화위다정규생산적원료삼록경규.본문개소료경화로적주요전기설비,병근거경화생산적류정화공예,설명선택저사전기설비삼수적원칙화의거.
