强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2002年
4期
521-525
,共5页
杨志安%靳涛%李英俊%姚育娟%罗尹虹
楊誌安%靳濤%李英俊%姚育娟%囉尹虹
양지안%근도%리영준%요육연%라윤홍
X射线%强辐射场%界面态
X射線%彊輻射場%界麵態
X사선%강복사장%계면태
利用强脉冲X射线对Si-SiO2界面进行了辐照,测量了界面态曲线和退火曲线.实验显示:经过强脉冲X射线对Si-SiO2界面进行的辐照,在Si-SiO2界面感生出新的界面态,感生界面态的增加与辐照剂量成正比,并且易出现饱和现象.总结出了感生界面态密度产额Dit随辐照剂量D变化的分布式,并定性分析了Dit随D变化的行为.退火实验表明;强脉冲X射线辐照感生出的界面态越多,退火时这些界面态就消除得越快.退火过程显示有滞后现象,即辐照剂量大的阈电压漂移,在退火后恢复的绝对值,要小于辐照剂量小的阈电压漂移.导出了阈电压漂移随退火时间变化的关系,定性解释了滞后现象.
利用彊脈遲X射線對Si-SiO2界麵進行瞭輻照,測量瞭界麵態麯線和退火麯線.實驗顯示:經過彊脈遲X射線對Si-SiO2界麵進行的輻照,在Si-SiO2界麵感生齣新的界麵態,感生界麵態的增加與輻照劑量成正比,併且易齣現飽和現象.總結齣瞭感生界麵態密度產額Dit隨輻照劑量D變化的分佈式,併定性分析瞭Dit隨D變化的行為.退火實驗錶明;彊脈遲X射線輻照感生齣的界麵態越多,退火時這些界麵態就消除得越快.退火過程顯示有滯後現象,即輻照劑量大的閾電壓漂移,在退火後恢複的絕對值,要小于輻照劑量小的閾電壓漂移.導齣瞭閾電壓漂移隨退火時間變化的關繫,定性解釋瞭滯後現象.
이용강맥충X사선대Si-SiO2계면진행료복조,측량료계면태곡선화퇴화곡선.실험현시:경과강맥충X사선대Si-SiO2계면진행적복조,재Si-SiO2계면감생출신적계면태,감생계면태적증가여복조제량성정비,병차역출현포화현상.총결출료감생계면태밀도산액Dit수복조제량D변화적분포식,병정성분석료Dit수D변화적행위.퇴화실험표명;강맥충X사선복조감생출적계면태월다,퇴화시저사계면태취소제득월쾌.퇴화과정현시유체후현상,즉복조제량대적역전압표이,재퇴화후회복적절대치,요소우복조제량소적역전압표이.도출료역전압표이수퇴화시간변화적관계,정성해석료체후현상.
