物理学报
物理學報
물이학보
2004年
3期
867-870
,共4页
李伙全%宁兆元%程珊华%江美福
李夥全%寧兆元%程珊華%江美福
리화전%저조원%정산화%강미복
ZnO薄膜%光致发光%退火%蓝光发射
ZnO薄膜%光緻髮光%退火%藍光髮射
ZnO박막%광치발광%퇴화%람광발사
利用射频磁控溅射法在n型单晶硅衬底上制备了ZnO薄膜.通过改变源气体中氩气和氧气的流量比制备了具有不同化学计量比的ZnO薄膜,并且将它们在真空中作了加热后处理来研究ZnO薄膜的光致发光特性.这些在常温衬底上沉积的薄膜可发出强的蓝光,其峰位会随氧流量的减少而发生红移.从导带底到锌缺陷形成的受主能级之间的跃迁可能是产生蓝光发射的原因.
利用射頻磁控濺射法在n型單晶硅襯底上製備瞭ZnO薄膜.通過改變源氣體中氬氣和氧氣的流量比製備瞭具有不同化學計量比的ZnO薄膜,併且將它們在真空中作瞭加熱後處理來研究ZnO薄膜的光緻髮光特性.這些在常溫襯底上沉積的薄膜可髮齣彊的藍光,其峰位會隨氧流量的減少而髮生紅移.從導帶底到鋅缺陷形成的受主能級之間的躍遷可能是產生藍光髮射的原因.
이용사빈자공천사법재n형단정규츤저상제비료ZnO박막.통과개변원기체중아기화양기적류량비제비료구유불동화학계량비적ZnO박막,병차장타문재진공중작료가열후처리래연구ZnO박막적광치발광특성.저사재상온츤저상침적적박막가발출강적람광,기봉위회수양류량적감소이발생홍이.종도대저도자결함형성적수주능급지간적약천가능시산생람광발사적원인.
