无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2005年
1期
187-192
,共6页
脉冲激光真空弧%类金刚石薄膜%激光拉曼%摩擦系数
脈遲激光真空弧%類金剛石薄膜%激光拉曼%摩抆繫數
맥충격광진공호%류금강석박막%격광랍만%마찰계수
介绍了一种新的脉冲激光真空弧沉积技术,利用该技术在硅基片上制备了类金刚石薄膜.利用激光拉曼分析技术对沉积膜进行了结构分析,结果表明沉积膜为非晶结构,具有明显的sp3结构特征.同时利用纳米划痕压痕仪、原子力显微镜等分析设备对膜的表面形貌、微观摩擦学性能进行了分析,结果表明Si〈100〉基片上沉积膜的表面形貌和微观摩擦学性能略优于Si〈111〉基片上沉积的薄膜,其摩擦系数平均值为0.036.
介紹瞭一種新的脈遲激光真空弧沉積技術,利用該技術在硅基片上製備瞭類金剛石薄膜.利用激光拉曼分析技術對沉積膜進行瞭結構分析,結果錶明沉積膜為非晶結構,具有明顯的sp3結構特徵.同時利用納米劃痕壓痕儀、原子力顯微鏡等分析設備對膜的錶麵形貌、微觀摩抆學性能進行瞭分析,結果錶明Si〈100〉基片上沉積膜的錶麵形貌和微觀摩抆學性能略優于Si〈111〉基片上沉積的薄膜,其摩抆繫數平均值為0.036.
개소료일충신적맥충격광진공호침적기술,이용해기술재규기편상제비료류금강석박막.이용격광랍만분석기술대침적막진행료결구분석,결과표명침적막위비정결구,구유명현적sp3결구특정.동시이용납미화흔압흔의、원자력현미경등분석설비대막적표면형모、미관마찰학성능진행료분석,결과표명Si〈100〉기편상침적막적표면형모화미관마찰학성능략우우Si〈111〉기편상침적적박막,기마찰계수평균치위0.036.
