纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2005年
1期
53-55
,共3页
刘波%牛文成%杨亦飞%开桂云%董孝义
劉波%牛文成%楊亦飛%開桂雲%董孝義
류파%우문성%양역비%개계운%동효의
光纤光栅%位移%传感器
光纖光柵%位移%傳感器
광섬광책%위이%전감기
首先对光纤布喇格光栅传感的基本原理进行了分析,并给出了光纤光栅位移传感的基本公式.在此基础上,设计制作了一种光纤光栅位移传感器.采用光纤光栅作为传感元件,利用多波长计进行波长检测,对位移量进行了传感测量.实验中,传感器位移检测范围为0.6 mm,其传感测量精度为±43 nm,测量分辨率为1.5 nm.实验结果具有良好的线性度.
首先對光纖佈喇格光柵傳感的基本原理進行瞭分析,併給齣瞭光纖光柵位移傳感的基本公式.在此基礎上,設計製作瞭一種光纖光柵位移傳感器.採用光纖光柵作為傳感元件,利用多波長計進行波長檢測,對位移量進行瞭傳感測量.實驗中,傳感器位移檢測範圍為0.6 mm,其傳感測量精度為±43 nm,測量分辨率為1.5 nm.實驗結果具有良好的線性度.
수선대광섬포나격광책전감적기본원리진행료분석,병급출료광섬광책위이전감적기본공식.재차기출상,설계제작료일충광섬광책위이전감기.채용광섬광책작위전감원건,이용다파장계진행파장검측,대위이량진행료전감측량.실험중,전감기위이검측범위위0.6 mm,기전감측량정도위±43 nm,측량분변솔위1.5 nm.실험결과구유량호적선성도.
