材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2005年
z2期
464-465
,共2页
崔红玲%杨邦朝%杜晓松%周鸿仁%滕林
崔紅玲%楊邦朝%杜曉鬆%週鴻仁%滕林
최홍령%양방조%두효송%주홍인%등림
箔式锰铜传感器%Al2O3薄膜%动态高压测试
箔式錳銅傳感器%Al2O3薄膜%動態高壓測試
박식맹동전감기%Al2O3박막%동태고압측시
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层.用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层,代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜,从根本上消除高压旁路效应,提高传感器的测压上限.初步的动态超高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为54.55GPa,压阻系数为0.0237GPa-1,延续时间可达1.6μs.
為瞭提高錳銅超高壓力傳感器的測壓上限,鬚採用超高壓力下絕緣性能好的無機材料作為絕緣封裝層.用Al2O3薄膜作箔式錳銅超高壓力傳感器的絕緣層,代替現有箔式錳銅計中所使用的粘膠劑及PTFE膜,從根本上消除高壓徬路效應,提高傳感器的測壓上限.初步的動態超高壓測試結果錶明,該傳感器所承受的壓力為54.55GPa,壓阻繫數為0.0237GPa-1,延續時間可達1.6μs.
위료제고맹동초고압력전감기적측압상한,수채용초고압력하절연성능호적무궤재료작위절연봉장층.용Al2O3박막작박식맹동초고압력전감기적절연층,대체현유박식맹동계중소사용적점효제급PTFE막,종근본상소제고압방로효응,제고전감기적측압상한.초보적동태초고압측시결과표명,해전감기소승수적압력위54.55GPa,압조계수위0.0237GPa-1,연속시간가체1.6μs.
