中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
352-354
,共3页
付光宗%杨丰帆%杨小红%廖克俊%刘高彬
付光宗%楊豐帆%楊小紅%廖剋俊%劉高彬
부광종%양봉범%양소홍%료극준%류고빈
超薄铝膜%透射率%光学性质%直流磁控溅射
超薄鋁膜%透射率%光學性質%直流磁控濺射
초박려막%투사솔%광학성질%직류자공천사
当铝(Al)膜的厚度在100nm时,可以作为一种光学薄膜使用.用这种超薄铝膜制成光学元件具有耐激光以及损耗小等特点,在大功率激光系统中将得到应用.利用高纯铝靶,运用直流磁控溅射法制备了超薄铝膜,利用双光束分光光度计研究了其光学性质,测试了超薄铝膜的制备条件,如工作压强、靶基距、溅射时间等对薄膜的光学性质的影响.得到了工作压强、靶基距及溅射功率与薄膜的光学性质之间的关系.
噹鋁(Al)膜的厚度在100nm時,可以作為一種光學薄膜使用.用這種超薄鋁膜製成光學元件具有耐激光以及損耗小等特點,在大功率激光繫統中將得到應用.利用高純鋁靶,運用直流磁控濺射法製備瞭超薄鋁膜,利用雙光束分光光度計研究瞭其光學性質,測試瞭超薄鋁膜的製備條件,如工作壓彊、靶基距、濺射時間等對薄膜的光學性質的影響.得到瞭工作壓彊、靶基距及濺射功率與薄膜的光學性質之間的關繫.
당려(Al)막적후도재100nm시,가이작위일충광학박막사용.용저충초박려막제성광학원건구유내격광이급손모소등특점,재대공솔격광계통중장득도응용.이용고순려파,운용직류자공천사법제비료초박려막,이용쌍광속분광광도계연구료기광학성질,측시료초박려막적제비조건,여공작압강、파기거、천사시간등대박막적광학성질적영향.득도료공작압강、파기거급천사공솔여박막적광학성질지간적관계.
