红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2006年
2期
105-107
,共3页
信思树%普朝光%杨明珠%杨培志
信思樹%普朝光%楊明珠%楊培誌
신사수%보조광%양명주%양배지
正胶%剥离技术%金属微细图形化%二次污染
正膠%剝離技術%金屬微細圖形化%二次汙染
정효%박리기술%금속미세도형화%이차오염
介绍了在金属微细图形化制作中常用的两种方法:刻蚀和剥离,并比较了两者的优劣.开发了一种新型的正胶剥离技术,着重解决了传统的正胶剥离技术中所存在的较为严重的"二次污染"问题,提高了其剥离精度,达到2 μm.最后介绍了新型的正胶剥离技术在实际工作中的应用.
介紹瞭在金屬微細圖形化製作中常用的兩種方法:刻蝕和剝離,併比較瞭兩者的優劣.開髮瞭一種新型的正膠剝離技術,著重解決瞭傳統的正膠剝離技術中所存在的較為嚴重的"二次汙染"問題,提高瞭其剝離精度,達到2 μm.最後介紹瞭新型的正膠剝離技術在實際工作中的應用.
개소료재금속미세도형화제작중상용적량충방법:각식화박리,병비교료량자적우렬.개발료일충신형적정효박리기술,착중해결료전통적정효박리기술중소존재적교위엄중적"이차오염"문제,제고료기박리정도,체도2 μm.최후개소료신형적정효박리기술재실제공작중적응용.
