济南大学学报（自然科学版）
濟南大學學報（自然科學版）
제남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JINAN UNIVERSITY(SCIENE AND TECHNOLOGY)
2009年
4期
376-379
,共4页
PLD%ZnO薄膜%晶体结构%表面形貌%光学特性
PLD%ZnO薄膜%晶體結構%錶麵形貌%光學特性
PLD%ZnO박막%정체결구%표면형모%광학특성
通过脉冲激光沉积方法在不同的氧压中制备ZnO 薄膜.用X射线衍射(XRD)谱、原子力显微镜(AFM)及光学透过率谱表征了薄膜的结构和光学特性.XRD谱和AFM显示在生长压力为2Pa时获得了较好的结晶薄膜,随着氧压的提升薄膜表面平整,晶粒均匀.光学透过率谱显示在生长压力为5Pa时有较好的光学特性.
通過脈遲激光沉積方法在不同的氧壓中製備ZnO 薄膜.用X射線衍射(XRD)譜、原子力顯微鏡(AFM)及光學透過率譜錶徵瞭薄膜的結構和光學特性.XRD譜和AFM顯示在生長壓力為2Pa時穫得瞭較好的結晶薄膜,隨著氧壓的提升薄膜錶麵平整,晶粒均勻.光學透過率譜顯示在生長壓力為5Pa時有較好的光學特性.
통과맥충격광침적방법재불동적양압중제비ZnO 박막.용X사선연사(XRD)보、원자력현미경(AFM)급광학투과솔보표정료박막적결구화광학특성.XRD보화AFM현시재생장압력위2Pa시획득료교호적결정박막,수착양압적제승박막표면평정,정립균균.광학투과솔보현시재생장압력위5Pa시유교호적광학특성.
