机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2002年
4期
515-517
,共3页
静态测试%加速度传感器%微电子机械系统%灵敏度%频率
靜態測試%加速度傳感器%微電子機械繫統%靈敏度%頻率
정태측시%가속도전감기%미전자궤계계통%령민도%빈솔
提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法.该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量.得到的结果表明,当梁与质量块的厚度比变得较大时,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值.该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比,偏差由90%下降到15%.最后进行了静态测试,结果与改进模型基本相符.
提齣一種計算加速度計靈敏度和頻率的改進方法.該方法在計算微結構的靈敏度和頻率時攷慮質量塊的變形及樑的質量.得到的結果錶明,噹樑與質量塊的厚度比變得較大時,樑的上錶麵的最大拉應力值不再等于最大壓應力值.該方法計算得到的頻率和忽略質量塊變形與樑質量所得到的頻率與ANSYS模擬相比,偏差由90%下降到15%.最後進行瞭靜態測試,結果與改進模型基本相符.
제출일충계산가속도계령민도화빈솔적개진방법.해방법재계산미결구적령민도화빈솔시고필질량괴적변형급량적질량.득도적결과표명,당량여질량괴적후도비변득교대시,량적상표면적최대랍응력치불재등우최대압응력치.해방법계산득도적빈솔화홀략질량괴변형여량질량소득도적빈솔여ANSYS모의상비,편차유90%하강도15%.최후진행료정태측시,결과여개진모형기본상부.
