材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2003年
4期
539-541
,共3页
反应磁控溅射%氟化类金刚石薄膜%拉曼光谱%红外吸收光谱
反應磁控濺射%氟化類金剛石薄膜%拉曼光譜%紅外吸收光譜
반응자공천사%불화류금강석박막%랍만광보%홍외흡수광보
以高纯石墨作靶、CHF3/Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备出了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.拉曼光谱表明,CHF3相对流量的增加会引起薄膜的D峰与G峰强度之比I(D)/I(G)减小,晶粒增大,芳香环结构比例下降.红外吸收光谱分析证实了这些推论,指出这是由于薄膜中氟含量上升的结果.
以高純石墨作靶、CHF3/Ar作源氣體採用反應磁控濺射法製備齣瞭氟化類金剛石(F-DLC)薄膜.拉曼光譜錶明,CHF3相對流量的增加會引起薄膜的D峰與G峰彊度之比I(D)/I(G)減小,晶粒增大,芳香環結構比例下降.紅外吸收光譜分析證實瞭這些推論,指齣這是由于薄膜中氟含量上升的結果.
이고순석묵작파、CHF3/Ar작원기체채용반응자공천사법제비출료불화류금강석(F-DLC)박막.랍만광보표명,CHF3상대류량적증가회인기박막적D봉여G봉강도지비I(D)/I(G)감소,정립증대,방향배결구비례하강.홍외흡수광보분석증실료저사추론,지출저시유우박막중불함량상승적결과.
