光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2009年
9期
2200-2204
,共5页
韦玮%黄尚廉%金珠%王宁%史玲娜
韋瑋%黃尚廉%金珠%王寧%史玲娜
위위%황상렴%금주%왕저%사령나
微机电系统%光调制器%法珀%电热驱动%显示
微機電繫統%光調製器%法珀%電熱驅動%顯示
미궤전계통%광조제기%법박%전열구동%현시
提出了一种用于显示基于微机电系统的电热驱动法布里-珀罗光调制器.利用多光束干涉理论分析了该调制器的原理及光学特性.分析表明:当腔长为(2k+1)λ/4时,反射光强取极大值;当腔长为2kλ/4时,反射光强取极小值;通过改变腔长可以实现显示.光源谱宽越窄,衬比度越高;干涉级次越低,衬比度越高;衬比度随反射率的增加而减小.借助Ansys软件仿真分析了调制器的驱动特性.加工了器件并搭建实验装置进行了动态响应特性测试实验.结果表明,该调制器具有驱动电压低至3.2 V,响应速度约为5 kHz的良好驱动特性.实验结果初步验证了该结构的可行性.
提齣瞭一種用于顯示基于微機電繫統的電熱驅動法佈裏-珀囉光調製器.利用多光束榦涉理論分析瞭該調製器的原理及光學特性.分析錶明:噹腔長為(2k+1)λ/4時,反射光彊取極大值;噹腔長為2kλ/4時,反射光彊取極小值;通過改變腔長可以實現顯示.光源譜寬越窄,襯比度越高;榦涉級次越低,襯比度越高;襯比度隨反射率的增加而減小.藉助Ansys軟件倣真分析瞭調製器的驅動特性.加工瞭器件併搭建實驗裝置進行瞭動態響應特性測試實驗.結果錶明,該調製器具有驅動電壓低至3.2 V,響應速度約為5 kHz的良好驅動特性.實驗結果初步驗證瞭該結構的可行性.
제출료일충용우현시기우미궤전계통적전열구동법포리-박라광조제기.이용다광속간섭이론분석료해조제기적원리급광학특성.분석표명:당강장위(2k+1)λ/4시,반사광강취겁대치;당강장위2kλ/4시,반사광강취겁소치;통과개변강장가이실현현시.광원보관월착,츤비도월고;간섭급차월저,츤비도월고;츤비도수반사솔적증가이감소.차조Ansys연건방진분석료조제기적구동특성.가공료기건병탑건실험장치진행료동태향응특성측시실험.결과표명,해조제기구유구동전압저지3.2 V,향응속도약위5 kHz적량호구동특성.실험결과초보험증료해결구적가행성.
