现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2011年
24期
14-17
,共4页
陈振生%刘伯强%殷淑霞%祁爽
陳振生%劉伯彊%慇淑霞%祁爽
진진생%류백강%은숙하%기상
电子束曝光机%高压电源%制版精度%复合补偿
電子束曝光機%高壓電源%製版精度%複閤補償
전자속폭광궤%고압전원%제판정도%복합보상
为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案.为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施.通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度.
為保證電子束曝光機用高壓電源既有高靜態精度,又有高動態穩定性,採用直接調整和間接調整相結閤的複閤調整方案,同時採用集中補償和分散補償相結閤的複閤補償方案.為實現高壓穩壓電源繫統的高精密、高穩定和低紋波電壓等技術指標,採取瞭多項閤理的特定電路設計和有效的技術處理措施.通過各項性能指標的測試和長期實際工作運行,證明各項技術指標均達到或超過原設計要求,保證瞭電子束曝光機的製版精度.
위보증전자속폭광궤용고압전원기유고정태정도,우유고동태은정성,채용직접조정화간접조정상결합적복합조정방안,동시채용집중보상화분산보상상결합적복합보상방안.위실현고압은압전원계통적고정밀、고은정화저문파전압등기술지표,채취료다항합리적특정전로설계화유효적기술처리조시.통과각항성능지표적측시화장기실제공작운행,증명각항기술지표균체도혹초과원설계요구,보증료전자속폭광궤적제판정도.
