压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2002年
3期
229-231
,共3页
饶瑞%徐重阳%曾祥斌%王长安%赵伯芳%周雪梅
饒瑞%徐重暘%曾祥斌%王長安%趙伯芳%週雪梅
요서%서중양%증상빈%왕장안%조백방%주설매
微波退火%低温晶化%多晶硅薄膜%电阻率
微波退火%低溫晶化%多晶硅薄膜%電阻率
미파퇴화%저온정화%다정규박막%전조솔
为实现多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器的实用化与产业化,低温(＜600 °C)、快速制备高质量多晶硅薄膜已成为研究热点.文中将微波加热技术应用于金属诱导a-Si薄膜横向晶化工艺中,成功实现了低温快速制备多晶硅薄膜.通过薄膜电阻率的测试,分析了多晶硅薄膜的电学特性.
為實現多晶硅薄膜晶體管有源矩陣液晶顯示器的實用化與產業化,低溫(＜600 °C)、快速製備高質量多晶硅薄膜已成為研究熱點.文中將微波加熱技術應用于金屬誘導a-Si薄膜橫嚮晶化工藝中,成功實現瞭低溫快速製備多晶硅薄膜.通過薄膜電阻率的測試,分析瞭多晶硅薄膜的電學特性.
위실현다정규박막정체관유원구진액정현시기적실용화여산업화,저온(＜600 °C)、쾌속제비고질량다정규박막이성위연구열점.문중장미파가열기술응용우금속유도a-Si박막횡향정화공예중,성공실현료저온쾌속제비다정규박막.통과박막전조솔적측시,분석료다정규박막적전학특성.
