功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2005年
1期
15-18
,共4页
刘力锋%陈诺夫%尹志岗%杨霏%周剑平%张富强
劉力鋒%陳諾伕%尹誌崗%楊霏%週劍平%張富彊
류력봉%진낙부%윤지강%양비%주검평%장부강
离子注入%锗%铁磁性%稀磁半导体
離子註入%鍺%鐵磁性%稀磁半導體
리자주입%타%철자성%희자반도체
采用离子能量为 100keV,剂量为 3× 1016cm- 2的离子注入技术,室温下往 n型 Ge( 111)单晶 衬底注入 Mn+离子,注入后的样品进行 400℃热处理.利用 X-射线衍射法 (XRD)和原子力显微 镜( AFM)对注入后的样品进行了结构和形貌分析, 俄歇电子能谱法 (AES)进行了组分分析,交变 梯度样品磁强计( AGM)进行了室温磁性测量.结果表明原位注入样品的结构是非晶的,热处理后 发生晶化现象.没有在样品中观察到新相形成. Mn离子较深的注入进 Ge衬底,在 120 nm处 Mn原子百分比浓度达到最高为 8%.热处理后的样品表现出了室温铁磁特性.
採用離子能量為 100keV,劑量為 3× 1016cm- 2的離子註入技術,室溫下往 n型 Ge( 111)單晶 襯底註入 Mn+離子,註入後的樣品進行 400℃熱處理.利用 X-射線衍射法 (XRD)和原子力顯微 鏡( AFM)對註入後的樣品進行瞭結構和形貌分析, 俄歇電子能譜法 (AES)進行瞭組分分析,交變 梯度樣品磁彊計( AGM)進行瞭室溫磁性測量.結果錶明原位註入樣品的結構是非晶的,熱處理後 髮生晶化現象.沒有在樣品中觀察到新相形成. Mn離子較深的註入進 Ge襯底,在 120 nm處 Mn原子百分比濃度達到最高為 8%.熱處理後的樣品錶現齣瞭室溫鐵磁特性.
채용리자능량위 100keV,제량위 3× 1016cm- 2적리자주입기술,실온하왕 n형 Ge( 111)단정 츤저주입 Mn+리자,주입후적양품진행 400℃열처리.이용 X-사선연사법 (XRD)화원자력현미 경( AFM)대주입후적양품진행료결구화형모분석, 아헐전자능보법 (AES)진행료조분분석,교변 제도양품자강계( AGM)진행료실온자성측량.결과표명원위주입양품적결구시비정적,열처리후 발생정화현상.몰유재양품중관찰도신상형성. Mn리자교심적주입진 Ge츤저,재 120 nm처 Mn원자백분비농도체도최고위 8%.열처리후적양품표현출료실온철자특성.
