微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
4期
42-47
,共6页
继电器%簧片%激光测量%激光校正%温度梯度
繼電器%簧片%激光測量%激光校正%溫度梯度
계전기%황편%격광측량%격광교정%온도제도
叙述了激光校正的基本原理,制作了相应的激光校正测试试验台.在该试验台上对继电器金属簧片进行了大量的校正测试,结果表明,激光测量点到激光校正点的间距x2与校正量h之间近似成正比例线性关系;激光功率P恒定时,激光照射时间t越长,校正量h也越大,但时间延长到某一数值后,有拐点出现,此后校正量h随时间t的延长而减小;在激光能量状态E相同的情况下,功率P越大,时间t越短,获得的校正量h越大;同一点处多次连续的激光照射并不能获得更大的校正量,只是浪费激光功率和工作时间.
敘述瞭激光校正的基本原理,製作瞭相應的激光校正測試試驗檯.在該試驗檯上對繼電器金屬簧片進行瞭大量的校正測試,結果錶明,激光測量點到激光校正點的間距x2與校正量h之間近似成正比例線性關繫;激光功率P恆定時,激光照射時間t越長,校正量h也越大,但時間延長到某一數值後,有枴點齣現,此後校正量h隨時間t的延長而減小;在激光能量狀態E相同的情況下,功率P越大,時間t越短,穫得的校正量h越大;同一點處多次連續的激光照射併不能穫得更大的校正量,隻是浪費激光功率和工作時間.
서술료격광교정적기본원리,제작료상응적격광교정측시시험태.재해시험태상대계전기금속황편진행료대량적교정측시,결과표명,격광측량점도격광교정점적간거x2여교정량h지간근사성정비례선성관계;격광공솔P항정시,격광조사시간t월장,교정량h야월대,단시간연장도모일수치후,유괴점출현,차후교정량h수시간t적연장이감소;재격광능량상태E상동적정황하,공솔P월대,시간t월단,획득적교정량h월대;동일점처다차련속적격광조사병불능획득경대적교정량,지시낭비격광공솔화공작시간.