低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2007年
2期
18-22
,共5页
高纯氨%水积累%包装容器
高純氨%水積纍%包裝容器
고순안%수적루%포장용기
充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分.水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下.对高纯氨水积累原因进行探讨,并提出解决问题的方法.
充分榦燥的高純氨包裝容器,經反複充裝若榦次以後,會殘留積纍愈來愈多的水分.水是高純氨質量控製的主要指標之一,對于5 N電子級高純氨,水含量應控製在<5 ppm,對于5.5 N以上純度的超純氨,水分更應控製在1 ppm以下.對高純氨水積纍原因進行探討,併提齣解決問題的方法.
충분간조적고순안포장용기,경반복충장약간차이후,회잔류적루유래유다적수분.수시고순안질량공제적주요지표지일,대우5 N전자급고순안,수함량응공제재<5 ppm,대우5.5 N이상순도적초순안,수분경응공제재1 ppm이하.대고순안수적루원인진행탐토,병제출해결문제적방법.