微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
28-30
,共3页
多电极石英谐振器%频率-温度特性%表面处理%差频补偿
多電極石英諧振器%頻率-溫度特性%錶麵處理%差頻補償
다전겁석영해진기%빈솔-온도특성%표면처리%차빈보상
设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-度特性,验证了其频率-度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线.在相同激励及环境条件下,在同一基片上设置多对电极时,各对电极构成的谐振器的频率-温度特性基本相同.根据这种相似特点,将同一基片上不同电极对应的谐振器的振动频率进行差频补偿,可有效地抑制温度对谐振器振动频率的影响.这种谐振器所采用的差频补偿方法可为石英谐振器相关特性的进一步开发利用提供依据.研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(是否抛光)及边沿形状(是否倒边)对其频率-温度特性的影响.实验结果表明,对单基多电极石英晶体谐振器的晶片表面进行抛光并对边沿进行倒边处理后,谐振器的稳定性得到了有效的改善,性能得到了优化.
設計瞭一種新型的單基三電極石英晶體諧振器,併在大氣環境條件下測試分析瞭這種諧振器的頻率-度特性,驗證瞭其頻率-度特性與已有的單基單電極諧振器的頻率-溫度特性基本一緻,麯線為三次麯線.在相同激勵及環境條件下,在同一基片上設置多對電極時,各對電極構成的諧振器的頻率-溫度特性基本相同.根據這種相似特點,將同一基片上不同電極對應的諧振器的振動頻率進行差頻補償,可有效地抑製溫度對諧振器振動頻率的影響.這種諧振器所採用的差頻補償方法可為石英諧振器相關特性的進一步開髮利用提供依據.研究瞭這種結構的石英晶體諧振器的晶片錶麵處理(是否拋光)及邊沿形狀(是否倒邊)對其頻率-溫度特性的影響.實驗結果錶明,對單基多電極石英晶體諧振器的晶片錶麵進行拋光併對邊沿進行倒邊處理後,諧振器的穩定性得到瞭有效的改善,性能得到瞭優化.
설계료일충신형적단기삼전겁석영정체해진기,병재대기배경조건하측시분석료저충해진기적빈솔-도특성,험증료기빈솔-도특성여이유적단기단전겁해진기적빈솔-온도특성기본일치,곡선위삼차곡선.재상동격려급배경조건하,재동일기편상설치다대전겁시,각대전겁구성적해진기적빈솔-온도특성기본상동.근거저충상사특점,장동일기편상불동전겁대응적해진기적진동빈솔진행차빈보상,가유효지억제온도대해진기진동빈솔적영향.저충해진기소채용적차빈보상방법가위석영해진기상관특성적진일보개발이용제공의거.연구료저충결구적석영정체해진기적정편표면처리(시부포광)급변연형상(시부도변)대기빈솔-온도특성적영향.실험결과표명,대단기다전겁석영정체해진기적정편표면진행포광병대변연진행도변처리후,해진기적은정성득도료유효적개선,성능득도료우화.
