表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2007年
6期
39-41
,共3页
吴莹%吴昕蔚%李广泽%李戈扬
吳瑩%吳昕蔚%李廣澤%李戈颺
오형%오흔위%리엄택%리과양
反应磁控溅射%Ti(O,N)复合涂层%微结构%力学性能
反應磁控濺射%Ti(O,N)複閤塗層%微結構%力學性能
반응자공천사%Ti(O,N)복합도층%미결구%역학성능
采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响.结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮含量相应减少,但涂层始终保持与TiN相同的NaCl结构.少量氧的加入,可以改善涂层的结晶状态,涂层的硬度也相应升高,明显高于未含氧的TiN涂层的硬度.氧含量为8.0%(原子数分数)时,涂层硬度达到最大值26.2 GPa.进一步增加氧含量,涂层的硬度基本保持不变.
採用反應磁控濺射方法在Ar、N2和O2混閤氣氛中製備瞭一繫列Ti(O,N)塗層,併採用EDS、XRD、SEM、AFM和微力學探針研究瞭氧分壓對塗層的化學成分、微結構和力學性能的影響.結果錶明:隨混閤氣氛中氧分壓的提高,塗層中的氧含量逐步增加,氮含量相應減少,但塗層始終保持與TiN相同的NaCl結構.少量氧的加入,可以改善塗層的結晶狀態,塗層的硬度也相應升高,明顯高于未含氧的TiN塗層的硬度.氧含量為8.0%(原子數分數)時,塗層硬度達到最大值26.2 GPa.進一步增加氧含量,塗層的硬度基本保持不變.
채용반응자공천사방법재Ar、N2화O2혼합기분중제비료일계렬Ti(O,N)도층,병채용EDS、XRD、SEM、AFM화미역학탐침연구료양분압대도층적화학성분、미결구화역학성능적영향.결과표명:수혼합기분중양분압적제고,도층중적양함량축보증가,담함량상응감소,단도층시종보지여TiN상동적NaCl결구.소량양적가입,가이개선도층적결정상태,도층적경도야상응승고,명현고우미함양적TiN도층적경도.양함량위8.0%(원자수분수)시,도층경도체도최대치26.2 GPa.진일보증가양함량,도층적경도기본보지불변.
