纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
4期
312-315
,共4页
电化学加工%超纯水%阳离子交换膜%水解离
電化學加工%超純水%暘離子交換膜%水解離
전화학가공%초순수%양리자교환막%수해리
为了充分发挥电化学加工以离子状态去除材料的加工机理,实现其在微细、精密,甚至是纳米加工领域中的应用,针对绿色制造和微细加工的需求,提出以超纯水为电解液的微细电化学加工方法.采用阳离子交换膜促进超纯水解离,提高电化学加工过程中电流密度;利用微探针作为工具电极,通过数控机床控制运动轨迹保持与阳极表面的间距恒定,以不同路径横向扫描工件,即可在工件阳极表面加工出2D/3D几何结构.并通过试验加工字母"PW-ECM".验证了超纯水作为电解液进行电化学扫描直写加工技术的可行性.
為瞭充分髮揮電化學加工以離子狀態去除材料的加工機理,實現其在微細、精密,甚至是納米加工領域中的應用,針對綠色製造和微細加工的需求,提齣以超純水為電解液的微細電化學加工方法.採用暘離子交換膜促進超純水解離,提高電化學加工過程中電流密度;利用微探針作為工具電極,通過數控機床控製運動軌跡保持與暘極錶麵的間距恆定,以不同路徑橫嚮掃描工件,即可在工件暘極錶麵加工齣2D/3D幾何結構.併通過試驗加工字母"PW-ECM".驗證瞭超純水作為電解液進行電化學掃描直寫加工技術的可行性.
위료충분발휘전화학가공이리자상태거제재료적가공궤리,실현기재미세、정밀,심지시납미가공영역중적응용,침대록색제조화미세가공적수구,제출이초순수위전해액적미세전화학가공방법.채용양리자교환막촉진초순수해리,제고전화학가공과정중전류밀도;이용미탐침작위공구전겁,통과수공궤상공제운동궤적보지여양겁표면적간거항정,이불동로경횡향소묘공건,즉가재공건양겁표면가공출2D/3D궤하결구.병통과시험가공자모"PW-ECM".험증료초순수작위전해액진행전화학소묘직사가공기술적가행성.
