黑龙江科技信息
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흑룡강과기신식
HEILONGJIANG SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2010年
28期
39
,共1页
王明磊%薛长山%姜宏伟%彭鸿雁
王明磊%薛長山%薑宏偉%彭鴻雁
왕명뢰%설장산%강굉위%팽홍안
热阴极PCVD法%纳米金刚石膜%氢气%氮气
熱陰極PCVD法%納米金剛石膜%氫氣%氮氣
열음겁PCVD법%납미금강석막%경기%담기
采用热阴极PCVD法.在CH4/H2的混合反应气源中通入不同气体(氢气、氮气)在P型(100)硅衬底上,合成了纳米金刚石膜.结果表明:Ar-90%时,金刚石薄膜表面晶拉尺寸达到纳米量级,在表面出现二次形核现象;N2-1%时,金刚石薄膜表面晶粒细化,晶界和缺陷增多,出现纳米级"菜花状"结构.氮气对金刚石晶粒有一定刻蚀作用出现凹陷生长现象.
採用熱陰極PCVD法.在CH4/H2的混閤反應氣源中通入不同氣體(氫氣、氮氣)在P型(100)硅襯底上,閤成瞭納米金剛石膜.結果錶明:Ar-90%時,金剛石薄膜錶麵晶拉呎吋達到納米量級,在錶麵齣現二次形覈現象;N2-1%時,金剛石薄膜錶麵晶粒細化,晶界和缺陷增多,齣現納米級"菜花狀"結構.氮氣對金剛石晶粒有一定刻蝕作用齣現凹陷生長現象.
채용열음겁PCVD법.재CH4/H2적혼합반응기원중통입불동기체(경기、담기)재P형(100)규츤저상,합성료납미금강석막.결과표명:Ar-90%시,금강석박막표면정랍척촌체도납미량급,재표면출현이차형핵현상;N2-1%시,금강석박막표면정립세화,정계화결함증다,출현납미급"채화상"결구.담기대금강석정립유일정각식작용출현요함생장현상.
