稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
1期
126-129
,共4页
任凤章%曹轲%郑茂盛%马战红%苏娟华%田保红
任鳳章%曹軻%鄭茂盛%馬戰紅%囌娟華%田保紅
임봉장%조가%정무성%마전홍%소연화%전보홍
薄膜%内应力%悬臂梁法%电子密度%TFDC电子理论
薄膜%內應力%懸臂樑法%電子密度%TFDC電子理論
박막%내응력%현비량법%전자밀도%TFDC전자이론
采用电沉积法在Ni基体上制备Cu膜.悬臂梁法在线测量沉积Cu膜后的Ni基片挠度,由测得的挠度值计算出Cu膜内的平均内应力和分布内应力.结果表明,Cu膜内的平均内应力和分布内应力均随膜厚的增加而急剧减小.膜内的界面应力很大,而生长应力很小.基于改进的Thomas-Feimi-Dirac-Cheng(TFDC)电子理论,对由于界面电子密度调整而引起的Cu膜内平均内应力作出了初步估算.结果表明,理论估算结果与实验结果较接近.这说明理论计算模型具有较高的准确性.
採用電沉積法在Ni基體上製備Cu膜.懸臂樑法在線測量沉積Cu膜後的Ni基片撓度,由測得的撓度值計算齣Cu膜內的平均內應力和分佈內應力.結果錶明,Cu膜內的平均內應力和分佈內應力均隨膜厚的增加而急劇減小.膜內的界麵應力很大,而生長應力很小.基于改進的Thomas-Feimi-Dirac-Cheng(TFDC)電子理論,對由于界麵電子密度調整而引起的Cu膜內平均內應力作齣瞭初步估算.結果錶明,理論估算結果與實驗結果較接近.這說明理論計算模型具有較高的準確性.
채용전침적법재Ni기체상제비Cu막.현비량법재선측량침적Cu막후적Ni기편뇨도,유측득적뇨도치계산출Cu막내적평균내응력화분포내응력.결과표명,Cu막내적평균내응력화분포내응력균수막후적증가이급극감소.막내적계면응력흔대,이생장응력흔소.기우개진적Thomas-Feimi-Dirac-Cheng(TFDC)전자이론,대유우계면전자밀도조정이인기적Cu막내평균내응력작출료초보고산.결과표명,이론고산결과여실험결과교접근.저설명이론계산모형구유교고적준학성.
