材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2001年
2期
9-11
,共3页
顾利忠%苏菲%赵颉%张以恒
顧利忠%囌菲%趙頡%張以恆
고리충%소비%조힐%장이항
微机械材料%杨氏模量%静电激励
微機械材料%楊氏模量%靜電激勵
미궤계재료%양씨모량%정전격려
利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试.这是随微机械技术的产生而提出的-个新课题.文章综述了微机械材料杨氏模量的静态测试法.提出了微机械材料杨氏模量的动态测试法--静电激振法.这种方法具有测试装置简单、测量容易、适应性广等特点.
利用蝕刻硅技術製造的微機械構件,由于特殊的製作工藝而需要對其材料的機械性能如楊氏模量等進行測試.這是隨微機械技術的產生而提齣的-箇新課題.文章綜述瞭微機械材料楊氏模量的靜態測試法.提齣瞭微機械材料楊氏模量的動態測試法--靜電激振法.這種方法具有測試裝置簡單、測量容易、適應性廣等特點.
이용식각규기술제조적미궤계구건,유우특수적제작공예이수요대기재료적궤계성능여양씨모량등진행측시.저시수미궤계기술적산생이제출적-개신과제.문장종술료미궤계재료양씨모량적정태측시법.제출료미궤계재료양씨모량적동태측시법--정전격진법.저충방법구유측시장치간단、측량용역、괄응성엄등특점.
