真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
214-218
,共5页
徐均琪%上坂裕之%梅原德次%刁东风
徐均琪%上坂裕之%梅原德次%刁東風
서균기%상판유지%매원덕차%조동풍
表面波等离子体%工艺参数%电子密度%类金刚石薄膜
錶麵波等離子體%工藝參數%電子密度%類金剛石薄膜
표면파등리자체%공예삼수%전자밀도%류금강석박막
表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体.应用这种技术,很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积(IBAD),从而制备出性能优异的类金刚石薄膜(DLC).本文介绍了一种新型的SWP源,说明了朗缪尔探针等离子体诊断的基本原理,研究了微波功率、靶电压、真空度等对等离子体特性的影响.测试了不同工艺条件下的等离子体密度,电子温度,等离子体电位,悬浮电位.研究结果表明,微波功率、靶电压和真空度等参数对等离子体特性具有重要的影响.结果同时表明,这种表面波等离子体源即使在0.85 Pa的真空度下也能够产生高达1.87×1011 cm-3的电子密度(在2.8 Pa可达2.1×1012cm-3).
錶麵波等離子體(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年髮展起來的一種新型低壓、高密度等離子體.應用這種技術,很容易實現鍍膜過程中的離子束輔助沉積(IBAD),從而製備齣性能優異的類金剛石薄膜(DLC).本文介紹瞭一種新型的SWP源,說明瞭朗繆爾探針等離子體診斷的基本原理,研究瞭微波功率、靶電壓、真空度等對等離子體特性的影響.測試瞭不同工藝條件下的等離子體密度,電子溫度,等離子體電位,懸浮電位.研究結果錶明,微波功率、靶電壓和真空度等參數對等離子體特性具有重要的影響.結果同時錶明,這種錶麵波等離子體源即使在0.85 Pa的真空度下也能夠產生高達1.87×1011 cm-3的電子密度(在2.8 Pa可達2.1×1012cm-3).
표면파등리자체(Surface-wave-sustained plasma,SWP)시근년발전기래적일충신형저압、고밀도등리자체.응용저충기술,흔용역실현도막과정중적리자속보조침적(IBAD),종이제비출성능우이적류금강석박막(DLC).본문개소료일충신형적SWP원,설명료랑무이탐침등리자체진단적기본원리,연구료미파공솔、파전압、진공도등대등리자체특성적영향.측시료불동공예조건하적등리자체밀도,전자온도,등리자체전위,현부전위.연구결과표명,미파공솔、파전압화진공도등삼수대등리자체특성구유중요적영향.결과동시표명,저충표면파등리자체원즉사재0.85 Pa적진공도하야능구산생고체1.87×1011 cm-3적전자밀도(재2.8 Pa가체2.1×1012cm-3).
