中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2008年
5期
21-25
,共5页
马捷%刘玮玮%王从曾%常靖华
馬捷%劉瑋瑋%王從曾%常靖華
마첩%류위위%왕종증%상정화
化学气相沉积%钨%组织%性能
化學氣相沉積%鎢%組織%性能
화학기상침적%오%조직%성능
以WF6和H2为反应气体,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钨涂层.分析研究了沉积温度对沉积层组织、结构、表面形貌及涂层致密度、硬度、耐磨性能的影响.试验结果表明:随着温度升高,沉积速率加快,涂层组织逐渐由柱状晶转变为树枝晶,表面粗糙度显著增加,膜层致密度、硬度下降,耐磨性降低.化学气相沉积钨的最佳工艺温度范围为550～650℃.
以WF6和H2為反應氣體,採用化學氣相沉積法在純銅基體上沉積齣難鎔金屬鎢塗層.分析研究瞭沉積溫度對沉積層組織、結構、錶麵形貌及塗層緻密度、硬度、耐磨性能的影響.試驗結果錶明:隨著溫度升高,沉積速率加快,塗層組織逐漸由柱狀晶轉變為樹枝晶,錶麵粗糙度顯著增加,膜層緻密度、硬度下降,耐磨性降低.化學氣相沉積鎢的最佳工藝溫度範圍為550～650℃.
이WF6화H2위반응기체,채용화학기상침적법재순동기체상침적출난용금속오도층.분석연구료침적온도대침적층조직、결구、표면형모급도층치밀도、경도、내마성능적영향.시험결과표명:수착온도승고,침적속솔가쾌,도층조직축점유주상정전변위수지정,표면조조도현저증가,막층치밀도、경도하강,내마성강저.화학기상침적오적최가공예온도범위위550～650℃.
