电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
8期
11-15,19
,共6页
刘涛%高慧莹%罗杨%费玖海
劉濤%高慧瑩%囉楊%費玖海
류도%고혜형%라양%비구해
蓝宝石%纳米级抛光%CMP工艺
藍寶石%納米級拋光%CMP工藝
람보석%납미급포광%CMP공예
介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控制方案,并通过实验验证了设备的主要性能指标,能够满足蓝宝石衬底表面纳米级抛光的工艺要求.
介紹瞭針對藍寶石襯底錶麵納米級拋光工藝而研製的PG-510單麵拋光機的主要結構及其性能特點,簡要論述瞭拋光過程中各工藝參數的控製方案,併通過實驗驗證瞭設備的主要性能指標,能夠滿足藍寶石襯底錶麵納米級拋光的工藝要求.
개소료침대람보석츤저표면납미급포광공예이연제적PG-510단면포광궤적주요결구급기성능특점,간요논술료포광과정중각공예삼수적공제방안,병통과실험험증료설비적주요성능지표,능구만족람보석츤저표면납미급포광적공예요구.
