矿冶工程
礦冶工程
광야공정
2011年
1期
77-80
,共4页
谢圣中%王柏春%许向阳%王绍斌%翟海军
謝聖中%王柏春%許嚮暘%王紹斌%翟海軍
사골중%왕백춘%허향양%왕소빈%적해군
纳米CeO2%化学机械抛光%硅片%粗糙度
納米CeO2%化學機械拋光%硅片%粗糙度
납미CeO2%화학궤계포광%규편%조조도
在水体系中采用沉淀法制备了纳米CeO2粉体,并用XRD、SEM、TEM等对其晶体结构、粒度与形貌等进行了表征.将所得粉体配成水基纳米CeO2抛光液,研究了其抛光硅片的性能与机理,并与纳米SiO2抛光液作对比.结果表明,粒度在100 nm以下的CeO2对硅片具有良好的抛光效果,抛光后硅片表面形貌有很大改观,表面划痕被抛掉,在面积172μm×128μm的范围内得到了表面粗糙度Ra为0.689 nm的超光滑表面.
在水體繫中採用沉澱法製備瞭納米CeO2粉體,併用XRD、SEM、TEM等對其晶體結構、粒度與形貌等進行瞭錶徵.將所得粉體配成水基納米CeO2拋光液,研究瞭其拋光硅片的性能與機理,併與納米SiO2拋光液作對比.結果錶明,粒度在100 nm以下的CeO2對硅片具有良好的拋光效果,拋光後硅片錶麵形貌有很大改觀,錶麵劃痕被拋掉,在麵積172μm×128μm的範圍內得到瞭錶麵粗糙度Ra為0.689 nm的超光滑錶麵.
재수체계중채용침정법제비료납미CeO2분체,병용XRD、SEM、TEM등대기정체결구、립도여형모등진행료표정.장소득분체배성수기납미CeO2포광액,연구료기포광규편적성능여궤리,병여납미SiO2포광액작대비.결과표명,립도재100 nm이하적CeO2대규편구유량호적포광효과,포광후규편표면형모유흔대개관,표면화흔피포도,재면적172μm×128μm적범위내득도료표면조조도Ra위0.689 nm적초광활표면.
