天津科技
天津科技
천진과기
TIANJIN SCIENCE & TECHNOLOGY
2010年
6期
32-33
,共2页
庞炳远%闫萍%索开南%张殿朝
龐炳遠%閆萍%索開南%張殿朝
방병원%염평%색개남%장전조
4英寸《100》%区熔%硅单晶
4英吋《100》%區鎔%硅單晶
4영촌《100》%구용%규단정
在原有3英寸〈100〉区熔硅单晶生长工艺的基础上,通过适当的调整热场和生长参数,成功地在德国CFG4/1400P型区熔单晶炉上生长出了4英寸〈100〉晶向的区熔硅单晶,满足了对大直径〈100〉区熔硅单晶生长的需求.所生长的〈100〉晶向的硅单晶具有机械强度高、径向电阻率均匀性好的特点.
在原有3英吋〈100〉區鎔硅單晶生長工藝的基礎上,通過適噹的調整熱場和生長參數,成功地在德國CFG4/1400P型區鎔單晶爐上生長齣瞭4英吋〈100〉晶嚮的區鎔硅單晶,滿足瞭對大直徑〈100〉區鎔硅單晶生長的需求.所生長的〈100〉晶嚮的硅單晶具有機械彊度高、徑嚮電阻率均勻性好的特點.
재원유3영촌〈100〉구용규단정생장공예적기출상,통과괄당적조정열장화생장삼수,성공지재덕국CFG4/1400P형구용단정로상생장출료4영촌〈100〉정향적구용규단정,만족료대대직경〈100〉구용규단정생장적수구.소생장적〈100〉정향적규단정구유궤계강도고、경향전조솔균균성호적특점.
