原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
6期
744-748
,共5页
磁控溅射%Ti膜%合金化
磁控濺射%Ti膜%閤金化
자공천사%Ti막%합금화
研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响.结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能.
研究瞭直流磁控濺射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、結構和力學性能,探討瞭閤金化對Ti膜的影響.結果錶明,閤金化使Ti膜由α相結構轉變為α+β雙相結構,改變瞭薄膜的擇優取嚮,降低瞭薄膜錶麵粗糙度,併改善瞭薄膜的力學性能.
연구료직류자공천사Ti、TiMo、TiMoY급TiMoYAl박막적형모、결구화역학성능,탐토료합금화대Ti막적영향.결과표명,합금화사Ti막유α상결구전변위α+β쌍상결구,개변료박막적택우취향,강저료박막표면조조도,병개선료박막적역학성능.
