物理学报
物理學報
물이학보
2004年
11期
3710-3715
,共6页
周拥华%张义门%张玉明%孟祥志
週擁華%張義門%張玉明%孟祥誌
주옹화%장의문%장옥명%맹상지
6H-SiC%紫外光探测%吸收系数%光响应灵敏度
6H-SiC%紫外光探測%吸收繫數%光響應靈敏度
6H-SiC%자외광탐측%흡수계수%광향응령민도
运用器件模拟软件模拟了pn结6H-SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性.讨论了不同掺杂浓度、不同器件结深对响应灵敏度的影响.对于p+n结器件,当受光面为p+层,且厚度约为0.2pm、浓度约为9×1018cm-3、n层浓度约为1×1016 cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=167.2mA/W;当受光面为n+层,且厚度约为0.2μm、浓度约为9×1018cm-3、p层浓度约为1×1016cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=183.5mA/W.通过比较可知,模型能较好地反应实际情况,与实验数据符合较好.
運用器件模擬軟件模擬瞭pn結6H-SiC紫外光探測器的光響應靈敏度特性.討論瞭不同摻雜濃度、不同器件結深對響應靈敏度的影響.對于p+n結器件,噹受光麵為p+層,且厚度約為0.2pm、濃度約為9×1018cm-3、n層濃度約為1×1016 cm-3時,器件有較大的響應靈敏度,R=167.2mA/W;噹受光麵為n+層,且厚度約為0.2μm、濃度約為9×1018cm-3、p層濃度約為1×1016cm-3時,器件有較大的響應靈敏度,R=183.5mA/W.通過比較可知,模型能較好地反應實際情況,與實驗數據符閤較好.
운용기건모의연건모의료pn결6H-SiC자외광탐측기적광향응령민도특성.토론료불동참잡농도、불동기건결심대향응령민도적영향.대우p+n결기건,당수광면위p+층,차후도약위0.2pm、농도약위9×1018cm-3、n층농도약위1×1016 cm-3시,기건유교대적향응령민도,R=167.2mA/W;당수광면위n+층,차후도약위0.2μm、농도약위9×1018cm-3、p층농도약위1×1016cm-3시,기건유교대적향응령민도,R=183.5mA/W.통과비교가지,모형능교호지반응실제정황,여실험수거부합교호.
