江西师范大学学报（自然科学版）
江西師範大學學報（自然科學版）
강서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGXI NORMAL UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES EDITION）
2005年
1期
53-57
,共5页
脉冲激光沉积%等离子体%薄膜
脈遲激光沉積%等離子體%薄膜
맥충격광침적%등리자체%박막
脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广,最有希望的制膜技术.该文阐述了脉冲激光沉积技术的机理、特点,薄膜生长主要包括三个过程:1)激光与物质相互作用产生等离子体;2)等离子体向基片扩散;3)等离子体中粒子在基片上生长薄膜.文章还分析了脉冲沉积过程中各主要沉积参数,如激光能量密度、沉积气压和衬底情况等对薄膜质量的影响,并介绍了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、生物陶瓷薄膜等方面的应用.
脈遲激光沉積薄膜是近年來髮展起來的使用範圍最廣,最有希望的製膜技術.該文闡述瞭脈遲激光沉積技術的機理、特點,薄膜生長主要包括三箇過程:1)激光與物質相互作用產生等離子體;2)等離子體嚮基片擴散;3)等離子體中粒子在基片上生長薄膜.文章還分析瞭脈遲沉積過程中各主要沉積參數,如激光能量密度、沉積氣壓和襯底情況等對薄膜質量的影響,併介紹瞭其在製備半導體、高溫超導、類金剛石、生物陶瓷薄膜等方麵的應用.
맥충격광침적박막시근년래발전기래적사용범위최엄,최유희망적제막기술.해문천술료맥충격광침적기술적궤리、특점,박막생장주요포괄삼개과정:1)격광여물질상호작용산생등리자체;2)등리자체향기편확산;3)등리자체중입자재기편상생장박막.문장환분석료맥충침적과정중각주요침적삼수,여격광능량밀도、침적기압화츤저정황등대박막질량적영향,병개소료기재제비반도체、고온초도、류금강석、생물도자박막등방면적응용.
