传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1920-1923
,共4页
杨昊宇%赵小林%戴旭涵%邵国成%丁桂甫
楊昊宇%趙小林%戴旭涵%邵國成%丁桂甫
양호우%조소림%대욱함%소국성%정계보
微机电系统(MEMS)%继电器%电磁驱动%非线性磁路
微機電繫統(MEMS)%繼電器%電磁驅動%非線性磁路
미궤전계통(MEMS)%계전기%전자구동%비선성자로
介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考虑线圈绕组半径不同而产生的分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型,便于定量分析微驱动器结构物理参数对于磁通分布和电磁力的影响,从而为进一步优化设计该微电磁驱动器提供了理论分析依据.
介紹瞭一種平麵線圈型電磁驅動的MEMS微驅動器,基于分段磁路的網絡方程法,針對微電磁驅動器所採用的平麵線圈的結構特點,比較瞭攷慮磁動勢的分佈效應和傳統的集總處理兩種方法所建立的平麵線圈微驅動器的非線性磁路模型.實驗結果錶明攷慮線圈繞組半徑不同而產生的分佈效應可以為平麵線圈型微驅動器建立可靠的模型,便于定量分析微驅動器結構物理參數對于磁通分佈和電磁力的影響,從而為進一步優化設計該微電磁驅動器提供瞭理論分析依據.
개소료일충평면선권형전자구동적MEMS미구동기,기우분단자로적망락방정법,침대미전자구동기소채용적평면선권적결구특점,비교료고필자동세적분포효응화전통적집총처리량충방법소건립적평면선권미구동기적비선성자로모형.실험결과표명고필선권요조반경불동이산생적분포효응가이위평면선권형미구동기건립가고적모형,편우정량분석미구동기결구물리삼수대우자통분포화전자력적영향,종이위진일보우화설계해미전자구동기제공료이론분석의거.
