物理学报
物理學報
물이학보
2007年
5期
3004-3009
,共6页
肖剑荣%徐慧%王焕友%邓超生%李明君
肖劍榮%徐慧%王煥友%鄧超生%李明君
초검영%서혜%왕환우%산초생%리명군
氟化类金刚石膜%键结构%氮掺杂
氟化類金剛石膜%鍵結構%氮摻雜
불화류금강석막%건결구%담참잡
不同条件下,在单晶硅基片上沉积了含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜.原子力显微(AFM)形貌显示,掺N后,薄膜变得致密均匀.傅里叶变换吸收红外光谱(FTIR)表明,随着r(r=N2/[N2+CF4+CH4])的增大薄膜中C-H键的逐渐减少,C＝N和C≡N键含量逐渐增加.X射线光电子能谱(XPS)的Cls和Nls峰拟合结果发现,N掺入导致在薄膜中出现β-C3N4和a-CNx(x=1,2,3)成分.Roman散射谱的G峰向高频方向位移和峰值展宽等证明:随着r的增大,薄膜内sp2键态含量增加.
不同條件下,在單晶硅基片上沉積瞭含氮氟化類金剛石(FN-DLC)薄膜.原子力顯微(AFM)形貌顯示,摻N後,薄膜變得緻密均勻.傅裏葉變換吸收紅外光譜(FTIR)錶明,隨著r(r=N2/[N2+CF4+CH4])的增大薄膜中C-H鍵的逐漸減少,C＝N和C≡N鍵含量逐漸增加.X射線光電子能譜(XPS)的Cls和Nls峰擬閤結果髮現,N摻入導緻在薄膜中齣現β-C3N4和a-CNx(x=1,2,3)成分.Roman散射譜的G峰嚮高頻方嚮位移和峰值展寬等證明:隨著r的增大,薄膜內sp2鍵態含量增加.
불동조건하,재단정규기편상침적료함담불화류금강석(FN-DLC)박막.원자력현미(AFM)형모현시,참N후,박막변득치밀균균.부리협변환흡수홍외광보(FTIR)표명,수착r(r=N2/[N2+CF4+CH4])적증대박막중C-H건적축점감소,C＝N화C≡N건함량축점증가.X사선광전자능보(XPS)적Cls화Nls봉의합결과발현,N참입도치재박막중출현β-C3N4화a-CNx(x=1,2,3)성분.Roman산사보적G봉향고빈방향위이화봉치전관등증명:수착r적증대,박막내sp2건태함량증가.
