传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
1期
29-32
,共4页
张印强%杨波%李婧%王寿荣
張印彊%楊波%李婧%王壽榮
장인강%양파%리청%왕수영
硅微阵列陀螺仪%结构设计%ANSYS仿真%扫频实验
硅微陣列陀螺儀%結構設計%ANSYS倣真%掃頻實驗
규미진렬타라의%결구설계%ANSYS방진%소빈실험
为了提高硅微机械陀螺仪的精度和工作可靠性,提出了一种新的硅微阵列陀螺仪结构设计方案.该陀螺仪由4个质量块构成,采用半解耦结构设计,结构完全对称,驱动模态和检测模态的频率匹配性好.分析了硅微阵列陀螺仪的结构和工作原理,并利用ANSYS有限元软件进行了结构仿真,通过调节结构参数实现了各驱动模态与敏感模态固有频率的匹配.对阵列陀螺仪样品进行了测试,实验测试结果表明,驱动模态存在3个振型,同频反相振动的幅值最大,与仿真结果一致.
為瞭提高硅微機械陀螺儀的精度和工作可靠性,提齣瞭一種新的硅微陣列陀螺儀結構設計方案.該陀螺儀由4箇質量塊構成,採用半解耦結構設計,結構完全對稱,驅動模態和檢測模態的頻率匹配性好.分析瞭硅微陣列陀螺儀的結構和工作原理,併利用ANSYS有限元軟件進行瞭結構倣真,通過調節結構參數實現瞭各驅動模態與敏感模態固有頻率的匹配.對陣列陀螺儀樣品進行瞭測試,實驗測試結果錶明,驅動模態存在3箇振型,同頻反相振動的幅值最大,與倣真結果一緻.
위료제고규미궤계타라의적정도화공작가고성,제출료일충신적규미진렬타라의결구설계방안.해타라의유4개질량괴구성,채용반해우결구설계,결구완전대칭,구동모태화검측모태적빈솔필배성호.분석료규미진렬타라의적결구화공작원리,병이용ANSYS유한원연건진행료결구방진,통과조절결구삼수실현료각구동모태여민감모태고유빈솔적필배.대진렬타라의양품진행료측시,실험측시결과표명,구동모태존재3개진형,동빈반상진동적폭치최대,여방진결과일치.
