激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2012年
4期
450-452
,共3页
任豪%曾群%庞振华%周应恒%梁锡辉
任豪%曾群%龐振華%週應恆%樑錫輝
임호%증군%방진화%주응항%량석휘
薄膜%掺钕钇铝石榴石%电子束蒸发%光致发光
薄膜%摻釹釔鋁石榴石%電子束蒸髮%光緻髮光
박막%참녀을려석류석%전자속증발%광치발광
硅基光电集成技术是当代高速信息化的重要发展方向之一.为了研究制备在硅衬底上的新型发光材料,突破Nd∶YAG固体激光工作物质主要是晶体、透明陶瓷等固体形态的限制,采用电子束蒸发沉积工艺,在硅(100)衬底上制备了Nd∶ YAG薄膜,并对Nd∶YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光学特性进行了测试.X射线和扫描电子显微镜测试结果显示,Nd∶YAG薄膜经1100℃真空高温退火处理1h后有效结晶,采用钛蓝宝石激光器输出808nm激光激发,液氮冷却的InGaAs阵列探测器室温下得到Nd∶YAG薄膜的1064nm主荧光峰的荧光光谱.结果表明,采用电子束蒸发沉积和后续高温退火工艺可以在硅衬底上制备Nd∶YAG晶体薄膜.
硅基光電集成技術是噹代高速信息化的重要髮展方嚮之一.為瞭研究製備在硅襯底上的新型髮光材料,突破Nd∶YAG固體激光工作物質主要是晶體、透明陶瓷等固體形態的限製,採用電子束蒸髮沉積工藝,在硅(100)襯底上製備瞭Nd∶ YAG薄膜,併對Nd∶YAG薄膜的錶麵形貌、晶體結構、光學特性進行瞭測試.X射線和掃描電子顯微鏡測試結果顯示,Nd∶YAG薄膜經1100℃真空高溫退火處理1h後有效結晶,採用鈦藍寶石激光器輸齣808nm激光激髮,液氮冷卻的InGaAs陣列探測器室溫下得到Nd∶YAG薄膜的1064nm主熒光峰的熒光光譜.結果錶明,採用電子束蒸髮沉積和後續高溫退火工藝可以在硅襯底上製備Nd∶YAG晶體薄膜.
규기광전집성기술시당대고속신식화적중요발전방향지일.위료연구제비재규츤저상적신형발광재료,돌파Nd∶YAG고체격광공작물질주요시정체、투명도자등고체형태적한제,채용전자속증발침적공예,재규(100)츤저상제비료Nd∶ YAG박막,병대Nd∶YAG박막적표면형모、정체결구、광학특성진행료측시.X사선화소묘전자현미경측시결과현시,Nd∶YAG박막경1100℃진공고온퇴화처리1h후유효결정,채용태람보석격광기수출808nm격광격발,액담냉각적InGaAs진렬탐측기실온하득도Nd∶YAG박막적1064nm주형광봉적형광광보.결과표명,채용전자속증발침적화후속고온퇴화공예가이재규츤저상제비Nd∶YAG정체박막.
