太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2012年
19期
22-25
,共4页
严婷婷%凌俊%杨健%陈如龙%张光春
嚴婷婷%凌俊%楊健%陳如龍%張光春
엄정정%릉준%양건%진여룡%장광춘
反应离子刻蚀%单晶硅太阳电池%绒面%短路电流密度
反應離子刻蝕%單晶硅太暘電池%絨麵%短路電流密度
반응리자각식%단정규태양전지%융면%단로전류밀도
研究了在预制绒基片上进行RIE织构化处理,得到的硅片表面具有很好的陷光效果,平均反射率仅为6％左右.通过热氧化法改善表面损伤,发现在温度900℃下,氧化膜厚度为40nm时,可得到较高的有效少子寿命,由此制得电池的内量子效率(IQE)、短路电流密度均有提高.
研究瞭在預製絨基片上進行RIE織構化處理,得到的硅片錶麵具有很好的陷光效果,平均反射率僅為6％左右.通過熱氧化法改善錶麵損傷,髮現在溫度900℃下,氧化膜厚度為40nm時,可得到較高的有效少子壽命,由此製得電池的內量子效率(IQE)、短路電流密度均有提高.
연구료재예제융기편상진행RIE직구화처리,득도적규편표면구유흔호적함광효과,평균반사솔부위6％좌우.통과열양화법개선표면손상,발현재온도900℃하,양화막후도위40nm시,가득도교고적유효소자수명,유차제득전지적내양자효솔(IQE)、단로전류밀도균유제고.
