本征和Al3+掺杂ZnO薄膜的特性研究
본정화Al3+참잡ZnO박막적특성연구
Properties of Intrinsic and Aluminum-doped ZnO Thin Films
  • 万方数据
    红外技术 홍외기술
    INFRARED TECHNOLOGY
    2012年 5期 256-259 ,共4页

    宋立媛%唐利斌%姬荣斌%刘新近%陈雪梅%薛经纬%庄继胜%王茺%杨宇

    송립원%당리빈%희영빈%류신근%진설매%설경위%장계성%왕충%양우

    ZnO∶Al薄膜%X射线衍射%紫外-可见光吸收光谱%霍尔效应 ZnO∶Al薄膜%X射線衍射%紫外-可見光吸收光譜%霍爾效應
    ZnO∶Al박막%X사선연사%자외-가견광흡수광보%곽이효응
    采用溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了本征及不同Al3+掺杂浓度的ZnO∶Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜,紫外-可见光吸收光谱及霍尔效应研究了Al3+掺杂浓度对ZnO∶Al薄膜结构和光电性能的影响.结果显示,ZnO∶Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构,具有很高的沿c轴的( 002)择优取向,Al3+掺杂并没有改变ZnO的晶体结构,只是Al取代了Zn;掺杂前后薄膜样品均在ZnO带边吸收的位置有较强的吸收而在可见光范围吸收较小；并且当Al3+掺杂浓度为1.5％(摩尔百分比)时所获得的ZnO∶Al薄膜具有最小的电阻率,为26Ω·cm.
    채용용효-응효방법재재파편츤저상제비료본정급불동Al3+참잡농도적ZnO∶Al박막,이용X사선연사(XRD)、원자력현미경,자외-가견광흡수광보급곽이효응연구료Al3+참잡농도대ZnO∶Al박막결구화광전성능적영향.결과현시,ZnO∶Al박막위륙각섬자광정체결구,구유흔고적연c축적( 002)택우취향,Al3+참잡병몰유개변ZnO적정체결구,지시Al취대료Zn;참잡전후박막양품균재ZnO대변흡수적위치유교강적흡수이재가견광범위흡수교소；병차당Al3+참잡농도위1.5％(마이백분비)시소획득적ZnO∶Al박막구유최소적전조솔,위26Ω·cm.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문