激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2012年
4期
365-371
,共7页
赵岩%柏洋%金成刚%吴雪梅%诸葛兰剑
趙巖%柏洋%金成剛%吳雪梅%諸葛蘭劍
조암%백양%금성강%오설매%제갈란검
激光诱导荧光%等离子体诊断%半导体激光器
激光誘導熒光%等離子體診斷%半導體激光器
격광유도형광%등리자체진단%반도체격광기
激光诱导荧光技术(LIF)应用到等离子体中已经有超过20年的历史,在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年.激光诱导荧光系统可以用于刻蚀、溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究.离子密度和速度分布及对流、传播参数等,都可以用LIF直接测量或间接计算得到.LIF可以得到时间分辨和空间分辨的离子分布方程,可用于等离子体热力学和等离子体迁移的研究.
激光誘導熒光技術(LIF)應用到等離子體中已經有超過20年的歷史,在等離子體處理中的應用也已經持續瞭十多年.激光誘導熒光繫統可以用于刻蝕、濺射以及薄膜沉積等離子體源的診斷研究.離子密度和速度分佈及對流、傳播參數等,都可以用LIF直接測量或間接計算得到.LIF可以得到時間分辨和空間分辨的離子分佈方程,可用于等離子體熱力學和等離子體遷移的研究.
격광유도형광기술(LIF)응용도등리자체중이경유초과20년적역사,재등리자체처리중적응용야이경지속료십다년.격광유도형광계통가이용우각식、천사이급박막침적등리자체원적진단연구.리자밀도화속도분포급대류、전파삼수등,도가이용LIF직접측량혹간접계산득도.LIF가이득도시간분변화공간분변적리자분포방정,가용우등리자체열역학화등리자체천이적연구.
