传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
2期
175-179
,共5页
查燕%尉一卿%韩庆江%章安良
查燕%尉一卿%韓慶江%章安良
사연%위일경%한경강%장안량
声表面波%微流开关%微架%可编程器件%微通道
聲錶麵波%微流開關%微架%可編程器件%微通道
성표면파%미류개관%미가%가편정기건%미통도
提出了一种新的、基于声表面波的纸基微流开关.通过软光刻技术制作内含两个微孔的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微架,其上固定经折叠、长度可变的纸通道.PDMS微架贴附于压电基片之上,并在待连接的两微通道之下方,折叠纸通道最低端离压电基片间距为2 mm.压电基片上采用微电子工艺光刻一对叉指换能器和反射栅.当足够强度的电信号加到叉指换能器对时,激发两相向声表面波,使得压电基片上微流体输运到折叠纸通道,改变其长度,连接其上待连通的两纸基微通道,完成开关功能.对可编程微流器件提供了一种新的编程和开关控制方法.
提齣瞭一種新的、基于聲錶麵波的紙基微流開關.通過軟光刻技術製作內含兩箇微孔的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微架,其上固定經摺疊、長度可變的紙通道.PDMS微架貼附于壓電基片之上,併在待連接的兩微通道之下方,摺疊紙通道最低耑離壓電基片間距為2 mm.壓電基片上採用微電子工藝光刻一對扠指換能器和反射柵.噹足夠彊度的電信號加到扠指換能器對時,激髮兩相嚮聲錶麵波,使得壓電基片上微流體輸運到摺疊紙通道,改變其長度,連接其上待連通的兩紙基微通道,完成開關功能.對可編程微流器件提供瞭一種新的編程和開關控製方法.
제출료일충신적、기우성표면파적지기미류개관.통과연광각기술제작내함량개미공적취이갑기규양완(PDMS)미가,기상고정경절첩、장도가변적지통도.PDMS미가첩부우압전기편지상,병재대련접적량미통도지하방,절첩지통도최저단리압전기편간거위2 mm.압전기편상채용미전자공예광각일대차지환능기화반사책.당족구강도적전신호가도차지환능기대시,격발량상향성표면파,사득압전기편상미류체수운도절첩지통도,개변기장도,련접기상대련통적량지기미통도,완성개관공능.대가편정미류기건제공료일충신적편정화개관공제방법.
