CAJ | 학술논문

统计过程控制（SPC）技术已广泛用于半导体器件生产，采用SPC技术可以提高半导体器件的质量和可靠性。利用控制图可以监控生产过程状态，对生产中出现的异常及时进行分析、改进，使半导体器件工艺的生产过程处于受控状态。本文介绍了SPC技术的基本概念和技术控制流程、常规控制图及其分类以及引用的国家标准。并以磷扩散工艺为例，阐明了该技术在晶闸管生产中的应用。
통계과정공제（SPC）기술이엄범용우반도체기건생산，채용SPC기술가이제고반도체기건적질량화가고성。이용공제도가이감공생산과정상태，대생산중출현적이상급시진행분석、개진，사반도체기건공예적생산과정처우수공상태。본문개소료SPC기술적기본개념화기술공제류정、상규공제도급기분류이급인용적국가표준。병이린확산공예위례，천명료해기술재정갑관생산중적응용。