光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
2期
332-339
,共8页
薛全喜%赵学庆%华恒祺%郑国鑫%张永生
薛全喜%趙學慶%華恆祺%鄭國鑫%張永生
설전희%조학경%화항기%정국흠%장영생
准分子激光%XeCl激光%光束平滑%均匀性%放大自发辐射%散射
準分子激光%XeCl激光%光束平滑%均勻性%放大自髮輻射%散射
준분자격광%XeCl격광%광속평활%균균성%방대자발복사%산사
为得到物面光强分布均匀、能量尽量大的部分相干XeCI准分子激光前端种子光,采用放大自发辐射(ASE)法和散射法开展了前端平滑实验研究.首先,基于一台窄脉冲XeCl准分子激光器,研究了种子光的物面光斑均匀性、能量和发散角随光束口径及物面位置的变化规律.然后,分析了影响种子光参数的因素.最后,进行了验证实验.实验结果显示:ASE法种子光物面光斑不均匀性最小为2.01%,能量为微焦量级,但发散角在水平和竖直方向有较大差别;散射法种子光物面光斑不均匀性最小为1.54%,能量为百纳焦量级,发散角为5.5 mrad,衍射极限倍数处于1437可调.前端泵浦腔尺寸和入射激光能量、散射板上光斑大小、收集透镜焦距分别是影响两种种子光参数的重要因素.经初级放大器放大后,光束物面光斑不均匀性为2.04%,能量达到8.0mJ,满足高功率XeCI准分子激光角多路系统建设需求.
為得到物麵光彊分佈均勻、能量儘量大的部分相榦XeCI準分子激光前耑種子光,採用放大自髮輻射(ASE)法和散射法開展瞭前耑平滑實驗研究.首先,基于一檯窄脈遲XeCl準分子激光器,研究瞭種子光的物麵光斑均勻性、能量和髮散角隨光束口徑及物麵位置的變化規律.然後,分析瞭影響種子光參數的因素.最後,進行瞭驗證實驗.實驗結果顯示:ASE法種子光物麵光斑不均勻性最小為2.01%,能量為微焦量級,但髮散角在水平和豎直方嚮有較大差彆;散射法種子光物麵光斑不均勻性最小為1.54%,能量為百納焦量級,髮散角為5.5 mrad,衍射極限倍數處于1437可調.前耑泵浦腔呎吋和入射激光能量、散射闆上光斑大小、收集透鏡焦距分彆是影響兩種種子光參數的重要因素.經初級放大器放大後,光束物麵光斑不均勻性為2.04%,能量達到8.0mJ,滿足高功率XeCI準分子激光角多路繫統建設需求.
위득도물면광강분포균균、능량진량대적부분상간XeCI준분자격광전단충자광,채용방대자발복사(ASE)법화산사법개전료전단평활실험연구.수선,기우일태착맥충XeCl준분자격광기,연구료충자광적물면광반균균성、능량화발산각수광속구경급물면위치적변화규률.연후,분석료영향충자광삼수적인소.최후,진행료험증실험.실험결과현시:ASE법충자광물면광반불균균성최소위2.01%,능량위미초량급,단발산각재수평화수직방향유교대차별;산사법충자광물면광반불균균성최소위1.54%,능량위백납초량급,발산각위5.5 mrad,연사겁한배수처우1437가조.전단빙포강척촌화입사격광능량、산사판상광반대소、수집투경초거분별시영향량충충자광삼수적중요인소.경초급방대기방대후,광속물면광반불균균성위2.04%,능량체도8.0mJ,만족고공솔XeCI준분자격광각다로계통건설수구.
