微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
12期
762-769
,共8页
柏鹭%高杨%贾小慧%王强
柏鷺%高楊%賈小慧%王彊
백로%고양%가소혜%왕강
微电子机械系统(MEMS)%悬臂梁%X波段%移相器%开关
微電子機械繫統(MEMS)%懸臂樑%X波段%移相器%開關
미전자궤계계통(MEMS)%현비량%X파단%이상기%개관
针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关.该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27 V.利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响,包括传输线断开间距d,接触金属与传输线之间的垂直间距h,接触金属的宽度B,总结了各参数对开关电磁性能的影响趋势,确定了本设计中各结构参数的最优取值;利用MEMS CAD软件CoventorWare对初始设计的开关进行机电耦合仿真,确定了开关的详细结构参数.仿真结果表明,设计的串联接触式悬臂梁开关驱动电压约为18 V;中心频率为10 GHz时,开关闭合态回波损耗为0.02 dB,隔离度为36 dB,导通态下,插入损耗为0.028 dB.
針對某片上集成開關線式MEMS移相器設計瞭一款串聯接觸式懸臂樑開關.該移相器要求結構緊湊,工作頻段為X波段,工作電壓低于27 V.利用Ansoft HFSS軟件倣真分析瞭開關關鍵結構參數對電磁性能的影響,包括傳輸線斷開間距d,接觸金屬與傳輸線之間的垂直間距h,接觸金屬的寬度B,總結瞭各參數對開關電磁性能的影響趨勢,確定瞭本設計中各結構參數的最優取值;利用MEMS CAD軟件CoventorWare對初始設計的開關進行機電耦閤倣真,確定瞭開關的詳細結構參數.倣真結果錶明,設計的串聯接觸式懸臂樑開關驅動電壓約為18 V;中心頻率為10 GHz時,開關閉閤態迴波損耗為0.02 dB,隔離度為36 dB,導通態下,插入損耗為0.028 dB.
침대모편상집성개관선식MEMS이상기설계료일관천련접촉식현비량개관.해이상기요구결구긴주,공작빈단위X파단,공작전압저우27 V.이용Ansoft HFSS연건방진분석료개관관건결구삼수대전자성능적영향,포괄전수선단개간거d,접촉금속여전수선지간적수직간거h,접촉금속적관도B,총결료각삼수대개관전자성능적영향추세,학정료본설계중각결구삼수적최우취치;이용MEMS CAD연건CoventorWare대초시설계적개관진행궤전우합방진,학정료개관적상세결구삼수.방진결과표명,설계적천련접촉식현비량개관구동전압약위18 V;중심빈솔위10 GHz시,개관폐합태회파손모위0.02 dB,격리도위36 dB,도통태하,삽입손모위0.028 dB.
