四川大学学报（自然科学版）
四川大學學報（自然科學版）
사천대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
5期
1174-1178
,共5页
非球面测量%干涉测量%稀疏阵列%针孔模板%部分补偿
非毬麵測量%榦涉測量%稀疏陣列%針孔模闆%部分補償
비구면측량%간섭측량%희소진렬%침공모판%부분보상
为了克服传统非球面补偿法测量对象的单一性,并提高非球面的动态测量范围,提出一种部分补偿与稀疏阵列CCD结合测量深度非球面的新方法.该方法首先采用多针孔阵列将CCD的感光面转换成稀疏阵列,通过降低干涉条纹的条纹密度来提高干涉仪的可测空间频率;根据被测非球面所需补偿的动态范围设计计算全息元件,部分补偿非球面性后,通过干涉测量获得深度非球面的表面信息.分析表明,采用该方法的干涉仪相对于传统干涉仪测量范围能扩大到10倍,实验表明稀疏阵列和部分补偿方法结合后能够实现精确的深度非球面测量.
為瞭剋服傳統非毬麵補償法測量對象的單一性,併提高非毬麵的動態測量範圍,提齣一種部分補償與稀疏陣列CCD結閤測量深度非毬麵的新方法.該方法首先採用多針孔陣列將CCD的感光麵轉換成稀疏陣列,通過降低榦涉條紋的條紋密度來提高榦涉儀的可測空間頻率;根據被測非毬麵所需補償的動態範圍設計計算全息元件,部分補償非毬麵性後,通過榦涉測量穫得深度非毬麵的錶麵信息.分析錶明,採用該方法的榦涉儀相對于傳統榦涉儀測量範圍能擴大到10倍,實驗錶明稀疏陣列和部分補償方法結閤後能夠實現精確的深度非毬麵測量.
위료극복전통비구면보상법측량대상적단일성,병제고비구면적동태측량범위,제출일충부분보상여희소진렬CCD결합측량심도비구면적신방법.해방법수선채용다침공진렬장CCD적감광면전환성희소진렬,통과강저간섭조문적조문밀도래제고간섭의적가측공간빈솔;근거피측비구면소수보상적동태범위설계계산전식원건,부분보상비구면성후,통과간섭측량획득심도비구면적표면신식.분석표명,채용해방법적간섭의상대우전통간섭의측량범위능확대도10배,실험표명희소진렬화부분보상방법결합후능구실현정학적심도비구면측량.
